ETF普遍采用单位投资信托的架构，因此就法律层面来看，ETF的参与单位主要分为三大方面，包括发起人（委托人）、受托人（保管银行）和投资人。
    简单程序即是由发起人向投资人募集财产，而后将财产存放于受托人处，并以此发行表征财产的受益权单位给投资人，完成全部程序。
    ETF的各参与主体包括：交易所，负责编制ETF所追踪的指数；经理公司，以证券承销方式发行基金单元的机构，管理信托财产，代表持有人的利益；参与证券商，由经理公司所指定的销售ETF的营销机构；保管银行，管理及转让机构，持有基金购置的证券资产，进行基金管理，并为基金单位转让提供方便；登记公司，持有基金单位的记录，登记基金持有人名录；指数编制公司，授权发起人使用特定指数的单位；投资人，包括机构和散户，实行进行ETF买卖的一方。